主要部件的功能及其工作原理 
1  電熱爐（工藝管） 
  電熱爐是特制的高可靠性的發(fā)熱體，是經(jīng)過(guò)特殊工藝制成，它對(duì)恒溫區(qū)的長(zhǎng)度、精度以及穩(wěn)定度提供了基礎(chǔ)，是影響成膜速率和均勻性的必要條件之一。工藝管具有口徑大、壁厚均勻無(wú)氣泡的優(yōu)良性，它水平置于爐體的中央，兩端配有密封法蘭，可生產(chǎn)8英寸圓片、6英寸方片，同時(shí)經(jīng)特殊磨口為真空密封提供可靠保證。 
2  取放舟系統(tǒng) 
  取放舟系統(tǒng)采用軟著爐的方式，即將石墨舟放到反應(yīng)管內(nèi)部后，推舟機(jī)構(gòu)將退出，自動(dòng)門(mén)關(guān)上。   載片舟是經(jīng)特殊設(shè)計(jì)，在X軸、Y軸、Z軸三個(gè)方向可微調(diào)，再精加工而成。它直接影響到電場(chǎng)的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結(jié)構(gòu)有關(guān)。所以是本設(shè)備的核心部件。 
 
3  氣路單元 
  氣路單元是一個(gè)獨(dú)立體，它的所有使用元器件都是進(jìn)口產(chǎn)品，具有控制精確、動(dòng)作可靠，布局合理，為安全生產(chǎn)提供一個(gè)先決條件。
 
4  PLC及計(jì)算機(jī)控制 
  本臺(tái)設(shè)備PLC做工藝自動(dòng)控制和安全互鎖，計(jì)算機(jī)提供人機(jī)交互，工藝編輯，各種過(guò)程實(shí)時(shí)顯示，參數(shù)實(shí)時(shí)時(shí)錄等。裝片取片由人工操作。同時(shí)有多種報(bào)警系統(tǒng)，如超溫報(bào)警、斷偶報(bào)警等。
 
5  真空系統(tǒng) 
  真空系統(tǒng)是本臺(tái)設(shè)備的關(guān)鍵之一，它是由羅茨泵機(jī)組、電動(dòng)調(diào)節(jié)閥、電磁擋板閥、壓力傳感器、真空管道等組成。