超精密工業(yè)清洗必須在凈化的環(huán)境中進(jìn)行,需要使用超高純度的清洗劑和DI水(去離子水),以及 清洗裝置.除了部分簡(jiǎn)單設(shè)備外,目前我國(guó)尚沒有企業(yè)能夠提供該類技術(shù)和設(shè)備,基本依靠進(jìn)口 。
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